微型离子推力器放电室防沉积的结构.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.04万字
约 11页
2023-06-16 发布于四川
举报
版权申诉

微型离子推力器放电室防沉积的结构.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种微型离子推力器放电室防沉积的结构，包括微型离子推力器的放电室、绝缘陶瓷套筒、绝缘陶瓷凸台结构和紧固件。绝缘陶瓷套筒包括套筒本体和法兰端面，套筒本体穿过放电室底板中部的通孔，法兰端面与放电室底板朝外的一侧贴合；绝缘陶瓷凸台结构具有阶梯面和凸台面，凸台面与放电室底板朝内的一侧贴合，阶梯面与放电室底板之间形成第一空隙，绝缘陶瓷凸台结构的外缘与阳极之间留有间隙；紧固件用于使绝缘陶瓷套筒和绝缘陶瓷凸台结构夹紧放电室底板。相比于现有技术，本发明通过设置第一空隙的方式破坏了溅射金属颗粒沉积层的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113236516 B (45)授权公告日 2022.03.04 (21)申请号 202110732225.6 CN 106593799 A,2017.04.26 (22)