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本发明公开了一种光伏全工序PL检测模块，包括壳体、面阵相机、LED光源组、大功率线激光源、线扫相机、硅片传送定位平台、陶瓷底板、面阵数据线、线扫数据线、图像控制处理一体机；本发明充分利用了光伏不同工序PL激发方式的特点，线扫相机与大功率线激光组合实现原硅片、制绒片的运动中检测，并通过激光垂直照射，皮带预留检测空隙，下方放置陶瓷底板的方式，保证高能量下的检测安全；面阵相机与LED光源组合实现扩散后工序硅片停顿状态的检测；在光伏全工序PL检测的同时，实现各工序PL检测效果最佳化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113257695 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110278825.X
(22)申请日 2021.03.19
(71)申请人 无锡市瑞能科技有限公司
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