基板处理装置、炉口封闭单元及半导体器件的制造方法.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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基板处理装置、炉口封闭单元及半导体器件的制造方法.pdf

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在具备对基板进行处理的反应室、封闭上述反应室的炉口部的盖体、安装在上述盖体的下方的基座、和设为分别连结上述盖体与上述基座的连结部件的结构中，上述连结部件构成为具有：安装于上述盖体的轴部；以围绕该轴部的方式设置且保持上述盖体的弹性部件；以围绕该弹性部件的方式设置且安装于上述基座的盖帽；安装于该盖帽的下方的固定块；和由设在该固定块与上述轴部之间的保持部件保持的移动块。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113261080 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202080007665.9 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所