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本发明适用于及光学元件加工领域技术领域,提供了一种双真空泵体抛光液回收装置,包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置;所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口;抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体,所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通,所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通,所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通。该装置可以实现抛光液无残留的高效回收,提高抛光液的稳定工作状态。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113231964 B
(45)授权公告日 2022.05.20
(21)申请号 202110563181.9 (51)Int.Cl.
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