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一种双真空泵体抛光液回收装置及方法.pdfVIP

一种双真空泵体抛光液回收装置及方法.pdf

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    本发明适用于及光学元件加工领域技术领域，提供了一种双真空泵体抛光液回收装置，包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置；所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口；抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体，所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通，所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通，所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通。该装置可以实现抛光液无残留的高效回收，提高抛光液的稳定工作状态。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113231964 B (45)授权公告日 2022.05.20 (21)申请号 202110563181.9 (51)Int.Cl.

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