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一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机.pdf

    本发明涉及一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷辊、第一镀膜机构、第二镀膜机构、收卷辊；第一镀膜机构用于对基材的一面进行镀膜，第一镀膜机构包括第一镀膜辊和第一镀膜区，第一镀膜区内设有第一蒸发源；第二镀膜机构用于对基材的另一面进行镀膜，第二镀膜机构包括第二镀膜辊和第二镀膜区，第二镀膜区内设有第二蒸发源；真空室上还安装有第一电子枪和第二电子枪，第一电子枪发射的电子束朝向第一蒸发源，第二电子枪发射的电子束朝向第二蒸发源。本发明可连续进行双面蒸发镀膜

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113265623 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110704292.7 (22)申请日 2021.06.24 (71)申请人 广东腾胜科技创新有限公司

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