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一种去耦电容器结构包括绝缘分割图案、导电垫、下电极组、支撑结构、电介质层和上电极结构。导电垫在绝缘分割图案的相反侧。下电极组在每个导电垫上在水平方向上彼此间隔开。支撑结构接触并连接下电极的侧壁。电介质层在下电极和支撑结构上。上电极结构在电介质层上。下电极组包括与绝缘分割图案相邻的第一下电极和在水平方向上与第一下电极间隔开的第二下电极。支撑结构在第二下电极之间限定开口。开口未形成在第一下电极之间或第一下电极与第二下电极之间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116264819 A
(43)申请公布日 2023.06.16
(21)申请号 202211596593.3
(22)申请日 2022.12.12
(30)优先权数据
10-2021-0177757
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