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本发明涉及一种用于确定光束状态，特别是用于确定光束焦点位置的光束分析装置。所述光束分析装置包括部分光束成像装置(10)，所述部分光束成像装置(10)具有至少一个用于从所述第一测量光束(40)的第一部分孔径区域形成第一部分光束(41)的第一选择装置(11)，以及成像器件(16)，其用于将用于产生第一光束光斑(45)的第一部分光束(41)成像到具有空间分辨率检测器(21)的检测器单元(20)上。此外，光束分析装置包括评估单元(25)，用于处理探测器单元(20)的信号，确定第一光斑(45)的横向位置(
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114025906 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202080045998.0 (74)专利代理机构 上海一平知识产权代理有限
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