膜厚测试装置及膜厚测试方法.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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膜厚测试装置及膜厚测试方法.pdf

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本发明属于膜厚测试技术领域，具体涉及一种膜厚测试装置及膜厚测试方法。本发明用以解决相关技术中测试膜厚效率较低的问题。膜厚测试装置包括导光装置和处理设备；处理设备与导光装置连接，导光装置具有朝向待测薄膜不同位置设置的多个采集端，导光装置用于将各采集端接收到的来自待测薄膜的反射光线引导至处理设备；处理设备用于根据反射光线获取各采集端对应的待测薄膜的厚度。待测薄膜表面反射的多个反射光线经采集端引导到处理设备，处理设备根据多个反射光线获取多个待测点的膜厚，提高了测试效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116263323 A (43)申请公布日 2023.06.16 (21)申请号 202111523591.7 (22)申请日 2021.12.14 (71)申请人南京微纳科技研究院有限公司地址