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微流控装置及其驱动方法、制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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微流控装置及其驱动方法、制作方法.pdf

    本发明公开了一种微流控装置及其驱动方法、制作方法，属于微流控技术领域，微流控装置包括第一基板和第二基板，第一基板和第二基板均为平整基板；第一基板一侧包括电极阵列层，第二基板一侧还包括第二电极层；电极阵列层至少包括多个第一电极和多个第二电极；第一基板包括第一区和第二区，第一电极位于第一区，第二电极位于第二区；第一区的第一基板和第二基板之间的距离D1大于第二区的第一基板和第二基板之间的距离D2。驱动方法应用于上述微流控装置工作。制作方法用于制作上述微流控装置。本发明能够兼容不同大小液滴的驱动，实现各

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114534805 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210122213.6 (22)申请日 2022.02.09 (71)申请人 上海天马微电子有限公司 地址 20

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