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准确地测定关于测定对象的被测定量，而不会导致测定所需的成本的增加、测定效率的下降。信号处理单元(3)具备探针连接部、第一A/D转换部以及构成从探针连接部到第一A/D转换部的第一信号传输路径的第一构成要素，在它们相互定位且相互间的位置偏移被限制的状态下与探针(4)一起安装到移动机构(5)，处理部(8)使探针(4)对配置在通过移动机构(5)得到的探针(4)的可探测区域内的校准基准部(10)进行探测并从校准基准部(10)输入第一高频信号，并且，执行基于由第一A/D转换部生成的测定值数据Dmi、来生成用
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113287026 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202080008794.X 酒井启至
(22)申请日 2020.01.14
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