用于气体输送的模块部件系统.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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用于气体输送的模块部件系统.pdf

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在一实施方案中，所公开的设备是用于气体输送箱中的至少一个气体基元基板。所述至少一个气体基元基板中的每一者具有至少一个位置，气体输送部件将安装在所述至少一个位置上。所述至少一个位置具有形成于所述气体基元基板的主体中的至少一个气体输送部件入口端口和气体输送部件出口端口。包含气流路径的至少一对第一镗孔分别形成在所述气体输送部件的位置的上游侧和下游侧。公开了其他设备和系统。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113994460 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202080043581.0 (74)专利代理机构上海胜康律师事务所 31263