物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置.pdf

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物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能同时实现高灵敏度化和低阻尼化。物理量传感器(1)包含：基板(2)，其设置有第1固定电极(24)；可动体(3)，其包含与第1固定电极对置的第1质量部(34)。第1质量部包含第1区域(61)和远离旋转轴(AY)的第2区域(62)，在第1、第2区域分别设置有第1、第2贯通孔组，可动体包含基板侧的第1面(6)和第2面(7)。在第1质量部的第1面，设置有用于使第1区域中的第1质量部与第1固定电极间的第1空隙的第1间隙距离小于第2区域中的第1质量部与第1固定

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114485599 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111246032.6 (22)申请日 2021.10.26 (30)优先权数据 2020-180122 202