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本发明提供一种电容耦合等离子体刻蚀设备，下电极的导电支撑杆与驱动装置连接，通过驱动装置驱动导电支撑杆沿其轴向运动，同时，下电极通过可伸缩密封部与腔体底部固定，使得下电极的上表面密封至腔体的容置空间中，腔体上连接有电连接部，通过电连接部将腔体内的射频电流返回至射频匹配器的回流端。这样，将下电极通过可伸缩密封部固定于腔体上，当下电极被驱动装置驱动而上下移动时，腔体并不随之移动，腔体中的射频回路处于稳定状态，从而，在实现极板间距的可调的同时，兼顾射频回路的稳定性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111326389 A
(43)申请公布日
2020.06.23
(21)申请号 20181
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