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本发明公开了一种基于GaTe/ZnO的微型发电机及其制备方法，方法包括以下步骤：制备微米线组件：在金属衬底上通过化学气相沉积形成ZnO微米线，作为前驱结构；然后在ZnO微米线上通过化学气相沉积形成GaTe的薄膜，GaTe薄膜设置在ZnO微米线上；电极的形成：在PET衬底上放置制备好的微米线组件，在覆盖GaTe的ZnO微米线的两端制作电极,电极上连接有输出线。保护层进行封装：采用保护层将PET和微米线组件整体封装起来。本发明的工艺简单，良品率高，能够减低成本，制备的GaTe/ZnO微型发电机具有较
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113270540 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110379211.0 H01L 41/316 (2013.01)
(22)申请日
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