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一种湿法刻蚀酸储存装置.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种湿法刻蚀酸储存装置.pdf

    本实用新型提供了一种湿法刻蚀酸储存装置，所述湿法刻蚀酸储存装置包括储液装置、气体循环装置、液体循环装置以及气源供给装置；所述气体循环装置包括依次连接的进气管路、气体输送装置以及布气管路；所述进气管路设置于储液装置的液面上方，所述布气装置设置于储液装置的底部；所述液体循环装置包括液体输送装置；所述液体输送装置与储液装置的液体出口连接；所述气源供给装置与储液装置连接。本实用新型通过气源供给装置的设置，减少液态酸补加引入不必要水分的缺陷，减少了储液装置的溢流流量，节约了酸的用量。而且，气源供给装置更易

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219203101 U (45)授权公告日 2023.06.16 (21)申请号 202222957189.6 (22)申请日 2022.11.07 (73)专利权人 环晟光伏（江苏）有限公司 地址

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