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用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法.pdf

    本发明涉及一种用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法。所述样品包括嵌入基质层内的试样。所述装置包括：光源，其被布置成用于将光束导向所述样品；以及检测器，其被布置成用于响应于所述光束入射到所述样品上而检测从所述样品发射的光。最后，所述装置包括控制器，所述控制器连接到所述检测器，并且被布置成基于由所述检测器接收到的信号来确定所述基质层的特性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113281260 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110187252.X (22)申请日 2021.02.18 (30)优先权数据

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