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电性测量系统及电性测量插座.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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电性测量系统及电性测量插座.pdf

    本实用新型公开了一种电性测量系统及电性测量插座。该电性测量系统包括：翘曲测量单元，用于测量翘曲的基板的电性待测表面在多个位置处分别具有的不同高度；插座形成单元，连接于翘曲测量单元，插座形成单元根据对电性待测表面的测量形成用于插座的多个探针，多个探针的顶部高度不同并且分别对应于电性待测表面的多个位置处的不同高度；电性测量单元，通过插座的探针的顶部顶抵电性待测表面电性测量电性待测表面。上述技术方案，可以解决现有技术的电性测量过程中易发生探针与基板未接触而影响测量结果的问题。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219201785 U (45)授权公告日 2023.06.16 (21)申请号 202222994803.6 (22)申请日 2022.11.10 (73)专利权人 日月光半导体制造股份有限公司 地

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