原创力文档- 5
- 0
- 约1.22万字
- 约 9页
- 2023-06-17 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种高纯氙气纯度的分析装置及其分析方法，分析装置包括气动十通阀，第一气动六通阀和第二气动六通阀，一个氦离子化检测器和不锈钢气路管，载气主管分为第一载气支管、第二载气支管、第三载气支管三路，所述气动十通阀上有1‑10号口，所述第一气动六通阀和第二气动六通阀上有均有1‑6号口；第一载气支管经五通接头连接气动十通阀的1号口，第二载气支管经五通接头连接气动十通阀的6号口，第三载气支管经五通接头连接第一气动六通阀的4号口，气动十通阀的2号口和9号口之间连接有第一定量环，气动十通阀的5号口和8号
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113267585 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110717850.3
(22)申请日 2021.06.28
(71)申请人 上海凡伟仪器设备有限公司
文档评论（0）