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滤光器阵列.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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滤光器阵列.pdf

    本申请涉及滤光器阵列。一种装置可以包括设置在基板上的滤光器阵列。滤光器阵列可以包括设置在基板上的第一反射镜。滤光器阵列可以包括设置在第一反射镜上的多个间隔件。多个间隔件的第一间隔件可以与第一厚度相关。多个间隔件的第二间隔件可以与第二厚度相关，所述第二厚度与第一厚度不同，对应于第一间隔件的第一通道和对应于第二间隔件的第二通道与小于大约10微米(μm)的分离宽度相关。滤光器阵列可以包括设置在多个间隔件上的第二反射镜层。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113270429 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110553060.6 G01J 3/28 (2006.01) (22)申请日 20

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