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本发明提供一种标尺，其能够在长期抑制腐蚀的同时，在测量中维持高测量精度。标尺具有基材、在所述基材的主面以规定的周期排列的标尺图案、以及覆盖所述标尺图案且至少一部分为单分子氟化合物的氟膜。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113280841 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202011501256.2 (22)申请日 2020.12.18 (30)优先权数据 2020-0268

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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