晶圆转载机构的机械臂校准装置及其校准方法.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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晶圆转载机构的机械臂校准装置及其校准方法.pdf

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一种晶圆转载机构的机械臂校准装置及其校准方法，在第一机械臂活动端上设有影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构，影像攫取组件具有上取像组件，晶圆定位件装卸机构具有定位刻度，在第二机械臂的活动端上设有晶圆取放机构，晶圆取放机构上设有指示刻度，主校正机构具有下取像组件，下取像组件上方设有具标准刻度的透明片；上、下取像组件分别对该标准刻度取像，可校正该影像攫取组件，并建立该第一机械臂的基准点坐标；下取像组件透视该定位刻度的位置影像，可校正该晶圆定位件装卸机构，并计算出该影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构之间的相

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113276104 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 20201