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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体涉及一种动态气体锁的测试装置及应用其测试的方法，该动态气体锁的测试装置包括：真空腔室系统、清洁气体系统，污染气体系统，气体分析系统，抽真空泵组和控制器；通过控制器控制动态气体锁向低清洁腔室和高清洁腔室内通入清洁气体，并向低清洁腔室通入污染气体，能够模拟气体锁在使用时的状态，再根据气体分析系统测试出动态气体锁对低清洁腔室内的污染气体的抑制效果，以便全面测试和评估动态气体锁性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113281463 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110363094.9
(22)申请日 2021.04.02
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
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