半导体存储器装置.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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半导体存储器装置.pdf

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提供了半导体存储器装置。所述半导体存储器装置包括：基底，具有第一有源图案，第一有源图案包括第一源极/漏极区和第二源极/漏极区；栅电极，与第一有源图案相交并且设置在第一源极/漏极区与第二源极/漏极区之间；位线，与第一有源图案相交并且电连接到第一源极/漏极区；间隔件，设置在位线的侧壁上；接触件，电连接到第二源极/漏极区并且与位线间隔开，间隔件置于接触件与位线之间；界面层，设置在第二源极/漏极区与接触件之间，并且在第二源极/漏极区与接触件之间形成欧姆接触；以及数据存储元件，设置在接触件上。接触件的底部

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114068550 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202110638451.8 (22)申请日 2021.06.08 (30)优先权数据 10-2020-0