半导体装置和包括其的数据存储系统.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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半导体装置和包括其的数据存储系统.pdf

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一种半导体装置和包括其的数据存储系统。半导体装置包括外围电路结构和存储单元结构，外围电路结构包括第一衬底和位于第一衬底上的电路元件，存储单元结构包括：第二衬底，位于第一衬底上；第一水平导电层，位于第二衬底上；第二水平导电层，位于第一水平导电层上；栅电极，彼此间隔开并且堆叠在第二水平导电层上；沟道结构，穿过栅电极；以及分隔区域，穿过栅电极、延伸并且彼此间隔开。半导体装置具有贯穿布线区域，贯穿布线区域包括将存储单元结构和外围电路结构电连接的贯穿接触插塞，分隔区域包括相邻于贯穿接触插塞的第一分隔区域，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114078862 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202110785462.9 H01L 27/11565 (2017.01)