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集成有多端口光波导的低维材料异质结光电探测器的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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集成有多端口光波导的低维材料异质结光电探测器的制备方法.pdf

    本发明涉及集成芯片领域，公开了一种集成有多端口光波导的低维材料异质结光电探测器的制备方法，制备的光电探测器中：路由光波导和多端口光波导均形成于衬底上，多端口光波导由N≥4个锥形输入光波导和一个中心多模光波导组成；1×2第一光分束器设置在路由光波导的光耦合输入端，每两个锥形输入光波导的输入端连接一个分别与1×2第一光分束器连接的1×2第二光分束器；低维材料异质结薄膜覆盖在多端口光波导的表面，在其两端、中心多模光波导的四周还分别对角覆盖第一、第二正电极和第一、第二负电极；低维材料异质结薄膜与中心多模

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113284962 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202110401485.5 (51)Int.Cl.

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