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本发明公开了探针装置、超导量子比特结电阻测量装置、系统及方法。该探针装置用于超导量子芯片电阻测量,包括第一探针、第二探针、探针操控机构和电源模块;探针操控机构用于操控第一探针和第二探针下针至超导量子芯片上的约瑟夫森结一侧,使第一探针和第二探针扎入但不扎穿约瑟夫森结一侧超导体表面的氧化层;电源模块用于在第一探针和第二探针之间施加电击穿信号,以击穿约瑟夫森结一侧两个扎入位置下方的氧化层,使得第一探针和第二探针与约瑟夫森结一侧的超导体形成导电连接。通过上述方式,本发明能够避免探针直接接触约瑟夫森结的超
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116263473 A
(43)申请公布日 2023.06.16
(21)申请号 202210587143.1
(22)申请日 2022.05.27
(66)本国优先权数据
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