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本公开提供一种静电吸盘和基板固定装置,该静电吸盘构造为在静电吸盘上吸附并保持对象。静电吸盘包括:基体,对象安装在该基体上;静电电极,其设置在基体中;多个加热元件,其设置在基体中;多个电流控制元件,其设置在基体中,并且多个电流控制元件中的每一个与加热元件中相对应的一个串联连接;以及控制电路,其设置在基体中,并且该控制电路与电流控制元件相连接并且构造为控制电流控制元件的操作。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113284838 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110126647.9
(22)申请日 2021.01.29
(30)优先权数据
2020-0146
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