硅晶圆切割用高纯碳化硅微粉及其制备装置、方法.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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硅晶圆切割用高纯碳化硅微粉及其制备装置、方法.pdf

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一种硅晶圆切割用高纯碳化硅微粉制备装置，包括依次设置的破碎机、磨粉机、浮选机、磁选机、沉降池、酸碱水洗罐、分级釜、多级溢流装置、离心机、烘干机和超声波筛分机，在破碎机与磨粉机之间还设置有整形机，在磨粉机与浮选机之间还设置有风力分级机；在分级釜的底部设置有输入口，在分级釜的顶部安装有溢流斗，溢流斗通过溢流管道与多级溢流装置连通；所述多级溢流装置包括若干依次连通的溢流槽。该装置设计合理、操作方便，基于该装置进行高纯碳化硅微粉制备方法工序流畅，可操作性强，制备的高纯碳化硅微粉具有硬度高、高纯度、化学指

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113277515 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202011058464.X (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人连云港市沃鑫高新材料有限公司