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一种转印装置及转印方法，该转印装置用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，该转印装置具备用于将未固化的树脂喷涂在基板上的喷涂部；定位并一体地设置基板的基板设置部；设置片状的模具的模具设置部；转印辊；和用于在将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上后，向从基板的树脂剥开的模具照射等离子体来清洁模具的等离子体单元，从基板的树脂剥开的模具，在由等离子体单元照射等离子体进行了清洁后，再次在转印图案的转印中使用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109709766 A
(43)申请公布日
2019.05.03
(21)申请号 20181
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