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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明公开了一种基于浮法镀膜联线系统，位于漂浮在锡槽内的基体上方，包括气体运输模块、气体反应模块、废气排出模块，气体运输模块按照气体的移动方向依次包括通气设备、纯化器、流量调节装置、蒸发升华器、混合炉，气体反应模块按照气体的移动方向依次包括反应炉、真空泵，废气排出模块包括废气处理器；基体上方设置有沉积区，沉积区的温度范围为600℃~780℃；本发明限制了沉积区的温度区域，并给出了锡槽的基体温度区域分配，能通过提升沉积区的最高温度逼近能达到最佳控制位置的极限温度，提升沉积速率的同时使基体表面的固态
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113277739 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110418364.1 C23C 16/46 (2006.01)
(22)申请日 2
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