一种检测TFT清洗线MURA的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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本发明涉及一种检测TFT清洗线MURA的方法,包括如下步骤:S1、使用水蒸气喷头向完成清洗流程的玻璃基板表面喷水蒸气,所述水蒸气喷头所喷出的水蒸气覆盖所述玻璃基板的表面;S2、使用能发出绿色光的钠灯作为唯一光源,使用所述钠灯照射所述玻璃基板的表面,检查所述玻璃基板的表面是否存在光散射部分。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113281923 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110430833.1 (22)申请日 2021.04.21 (71)申请人 信利(惠州)智能显示有限公司

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