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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明提供了一种三维缺陷检测方法及检测设备，该方法包括将具有镜面结构的待检测物放置于载台上，并将待检测物的镜面侧朝向网格板具有网格纹的一侧设置；启用照明组件照射网格板具有网格纹的一侧，以使待检测物的镜面侧映照出网格纹的图像；通过拍摄元件获取待检测物的镜面侧的检测图像；获取检测图像中的目标检测区域，并基于预设神经网络模型判断目标检测区域中出现的网格纹的图像是否发生扭曲；若是，则判定当前待检测物的镜面侧具有三维缺陷。通过上述方式在只需要使用网格板、照明组件以及拍摄元件的前提下就能够简单、快速的完成对
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115165920 A
(43)申请公布日 2022.10.11
(21)申请号 202211081630.7
(22)申请日 2022.09.06
(71)申请人 南昌昂坤半导体设备
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