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本发明揭示了一种使用超/兆声波装置(1003)清洗衬底且不损伤衬底上的图案化结构的方法，包括：将液体喷射到衬底和超/兆声波装置之间的间隙中；设置超/兆声波电源的频率为f1，功率为P1以驱动超/兆声波装置(1003)；在气泡内爆产生微喷射之后且在气泡内爆产生的微喷射损伤衬底上的图案化结构之前，设置超/兆声波电源的频率为f2，功率为P2以驱动超/兆声波装置(1003)；待气泡内的温度冷却到设定温度后，再次设置超/兆声波电源的频率为f1，功率为P1；重复上述步骤直到衬底被洗净。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109791899 A
(43)申请公布日
2019.05.21
(21)申请号 20168
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