原创力文档- 2
- 0
- 约1.02万字
- 约 10页
- 2023-06-17 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，包括：一个具有交错穿孔的扭转平板、两个扭转支撑梁、两个固定支撑、一个固定电极和基底。交错穿孔矩形平板和基底间施加驱动电压，扭转平板做扭转运动。以往的矩形板没有穿孔，无孔平板因为转动惯量大，挤压膜阻尼大，所以开关响应慢，能量损耗大，应用价值不高。本发明提出一种具有穿孔结构的扭转式微开关，这些孔降低平板转动惯量，使得器件响应更快。穿孔也降低了挤压膜阻尼，大大减小了阻尼力导致的时滞。本发明提出穿孔比0.45的矩形平板，挤压膜阻尼减小十倍以上，转动惯量降低
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113284755 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110359304.7
(22)申请日 2021.04.02
(71)申请人 东南大学
地址 21
文档评论（0）