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光罩保护盒及光罩传送设备.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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光罩保护盒及光罩传送设备.pdf

    本公开是关于一种光罩保护盒及光罩传送设备，光罩保护盒包括盒体，盒体内设置有容置空间，盒体的侧部设置有连通容置空间和外部的开口，光罩通过所述开口放置在所述容置空间内；盒盖，盒盖可拆卸地安装于盒体的侧部，以封闭开口。开口设置于盒体的侧部，当拆下盒盖时，盒体外的微粒等污染物不会从上方掉落至光罩或者容置空间内，有效拦截微粒等污染物，避免发生污染的现象。同时，开口位于盒体的侧部，与光罩传送设备的入口对应，使得光罩可以由侧面的开口直接进入至设备内，避免出现气流扰动的现象，保证承载台上的微粒不会被带入至设备内

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113264286 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110611268.9 (22)申请日 2021.06.01 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司

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