包括虚设柱的半导体装置和电子系统.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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包括虚设柱的半导体装置和电子系统.pdf

提供了一种半导体装置和一种电子系统。所述半导体装置包括:堆叠结构,包括交替堆叠的模制层和水平导电层;沟道结构,在堆叠结构中竖直地延伸;柱结构,在堆叠结构中竖直地延伸;以及接触插塞,连接到水平导电层中的对应的水平导电层。柱结构包括:柱,延伸穿过水平导电层;以及延伸部,从柱的侧表面突出。每个延伸部与水平导电层中的对应的水平导电层水平地对齐。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114446991 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202110850733.4 (22)申请日 2021.07.27 (30)优先权数据 10-2020-0146048

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