原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型提供一种振动位移测量范围扩大组件、振动组件及测振系统，振动位移测量范围扩大组件包括：安装件，用于与产生振动的振动件安装连接；安装件设有安装腔；聚光元件，设于安装腔内，用于对激光干涉仪发射的测量光束进行聚焦；反射元件，靠近安装腔的底壁设置，用于对穿过聚光元件的测量光束，朝向激光干涉仪的方向进行反射。通过安装件与振动件安装连接，安装件跟随振动件一起振动，通过聚光元件和激光干涉仪自身的聚焦镜头实现对激光干涉仪的测量光束进行二次聚焦，通过反射元件将测量光束朝向激光干涉仪反射，使得振动件振动过程
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219200609 U
(45)授权公告日 2023.06.16
(21)申请号 202320060315.X
(22)申请日 2023.01.09
(73)专利权人 中国计量科学研究院
地址 10
文档评论（0）