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一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线.pdfVIP

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  • 2023-06-19 发布于四川
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一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线.pdf

    本发明公开了一种分立式π/2相位差离子回旋共振加热天线，包括有RF源(1)，π/2调相器(2)，加热天线a(3)，加热天线b(4)和绝缘管(5)。本发明中等离子体贯穿进入分立式离子回旋天线时，被天线激发的电磁场有效加热，同时在两端天线之间的π/2相位差下不断加速。该离子回旋加热天线可使电磁波与等离子体高效耦合，且等离子体不直接接触电极，具有较高的服役寿命。同时分立式天线间距可以随工作频率或放电工作气体的特征频率进行更改，具有良好的通用性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113285223 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110563961.3 (22)申请日 2021.05.24 (71)申请人 中国科学院合肥物质科学研究院

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