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一种钻石晶体的异质键合方法及异质结构.pdfVIP

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  • 2023-06-19 发布于四川
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一种钻石晶体的异质键合方法及异质结构.pdf

    本发明涉及半导体技术领域，本发明公开了一种钻石晶体的异质键合方法及异质结构。本申请提供的该异质键合方法通过在钻石晶体表面引入键合介质层，继而可以采用亲水键合或者SAB键合等键合方法，绕过了钻石晶体不易抛光和键合的缺点，上述键合方法具有键合灵活以及键合强度高的优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113284839 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110557868.1 (22)申请日 2021.05.21 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术

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