双精调线高温薄膜铂电阻及其调阻方法.pdfVIP

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2023-06-19 发布于四川
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本发明涉及一种双精调线高温薄膜铂电阻及其调阻方法，在背板上的一侧刻蚀短精调线，在短精调线的垂直对应侧刻蚀长精调线，长精调线和短精调线的长度范围由所确定的目标电阻确定，在背板上的一侧刻蚀正导点，在正导点的垂直对应侧刻蚀负导点，正导点和负导点用于电阻连接外电路，在背板上的另一侧刻蚀滤波区，在滤波区的一侧刻蚀第一电阻区，在滤波区的另一侧刻蚀第二电阻区，通过添加第二条精调线，利用第二次精调，激光切割的短程性，在弥补第一次精调偏差阻值同时，大大减少了激光产生的热量，有效提高调阻的精确性，减小了现有技术中调

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113284688 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110533194.1 (22)申请日 2021.05.17 (71)申请人上海福宜纳米薄膜技术有限公司