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微环激光器阵列及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-19 发布于四川
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微环激光器阵列及其制作方法.pdf

    本发明公开了一种微环激光器阵列及其制作方法，所述微环激光器阵列包括：绝缘体上硅，所述绝缘体上硅包括：相对设置的第一层硅材料和第二层硅材料，以及位于两层硅材料之间的第一二氧化硅层；设置在所述绝缘体上硅上的多个激光输出单元；所述激光输出单元包括：微环腔激光器以及波导；所述微环腔激光器具有用于出射激光的有源区；所述微环腔激光器的尺寸不同，以出射不同波长的激光；所述绝缘体上硅具有多个露出第一表面的器件区；所述器件区不交叠，用于设置所述微环腔激光器，所述微环腔激光器与所述器件区一一对应；所述第二层硅材料包

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113285349 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110566858.4 (22)申请日 2021.05.24 (71)申请人 北京邮电大学 地址

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