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本发明提供一种显微试片制备方法、装置及记录介质。此方法包括下列步骤:撷取待测对象的测试影像;辨识测试影像中的多个测试样本,并根据辨识结果从测试影像中选择关注区域;利用激光切割关注区域中的测试样本,以产生间隙排列的测试样本作为多个目标样本;以及利用聚焦离子束切削各个目标样本为目标形状,以制备显微试片。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113310758 A
(43)申请公布日
2021.08.27
(21)申请号 20201
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