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本发明属于太赫兹亚波长结构传感技术领域,提供了一种基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法。其中,基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件包括衬底和波导传感单元,波导传感单元设置在衬底上,波导传感单元包括波导、矩形谐振腔及金属墙,所述矩形谐振腔以垂直于波导的方向直接连接在波导一侧,所述金属墙设置在矩形谐振腔一侧设定距离处的波导介质中,所述金属墙的中心设有孔径;所述矩形谐振腔的方向与电场偏振方向保持平行,波导的输入端用于接收太赫兹波,以使得太赫兹波在传输过程中满足共振条件时,产
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113295647 B
(45)授权公告日 2022.04.12
(21)申请号 202110523291.2 CN 206431044 U,2017.08.22
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