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利用填充液体从多个腔中选择性地填充一组腔的方法.pdfVIP

利用填充液体从多个腔中选择性地填充一组腔的方法.pdf

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    S66194GR‑G‑EXTPCT29摘要本发明涉及一种利用填充液体(15)选择性地填充多个腔(10)之中的第一腔(11)的方法，每个腔在衬底的正面(21)处向外打开，该方法包括以下步骤：a)处理步骤，旨在改变第一腔(11)的第一内表面(12)的表面能或其他腔的第二内表面(122)的表面能，使得第一表面(12)具有第一表面能，且第二表面具有第二表面能；b)包括用于散布填充液体(15)的序列的步骤；调节第一能量和第二能量，使得第一表面和第二表面分别对液体(15)施加吸引效应和排斥效应。用于摘

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113302752 A (43)申请公布日 2021.08.24 (21)申请号 201980088429.1 弗雷德里克 ·罗克斯　

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