用于监管能量束的扫描的方法和系统.pdfVIP

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揭示了一种用于监管能量束的扫描的方法。所述方法包括:提供被配置以提供能量束的设备;提供被配置以扫描能量束的扫描器,扫描器包括第一反射镜和第二反射镜;操作设备和扫描器,使得提供能量束同时根据预定扫描图案扫描能量束;在操作设备和扫描器两者时,由计算装置或系统的至少一个处理器通过处理由第一反射镜和第二反射镜的编码器所提供的测量值来确定能量束的实际扫描图案;由至少一个处理器将实际扫描图案与预定阈值区域进行比较。还揭示了用于监管能量束的扫描的系统。所述系统包括:被配置以提供能量束的设备;被配置以扫描能量束

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113329841 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 201980089902.8 (74)专利代理机构 广州华进联合专利商标代理

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