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本发明的目的在于提供一种能够适当地排出处理壳体的气体的衬底处理装置。衬底处理装置(1)具备处理壳体(23A1)、保持部(31)及液体供给部(33)。保持部(31)收容在处理壳体(23A1)中。保持部(31)保持衬底(W)。液体供给部(33)收容在处理壳体(23A1)中。液体供给部(33)对保持部(31)所保持的衬底(W)供给处理液。衬底处理装置(1)具备排气管(41A)、(42A)。排气管(41A)、(42A)分别配置在处理壳体(23A1)侧方。排气管(41A)、(42A)分别排出气体。衬底处理
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113314437 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110220015.9
(22)申请日 2021.02.26
(30)优先权数据
2020-0303
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