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2023-06-20 发布于四川
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提供显影处理装置和显影处理方法：短尺寸的第1显影液供给部和长度为俯视时基板直径以上的长尺寸的第2显影液供给部能共用接收从基板飞散的显影液的液接收部。显影处理装置对基板上的抗蚀膜进行显影，具有：基板保持部，将基板保持为水平；旋转机构，使基板保持部绕铅垂轴旋转；第1和第2显影液供给部，向基板供给显影液；以及液接收部，接收来自基板的显影液，第1显影液供给部长度为俯视时小于基板直径，第2显影液供给部长度为俯视时基板直径以上，液接收部的环状的第1和第2环状壁具有俯视时直径大于基板直径的圆状的开口，第2环状

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113311672 A (43)申请公布日 2021.08.27 (21)申请号 202110220216.9 (22)申请日 2021.02.26 (30)优先权数据 2020-0314

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