- 1、本文档共12页,其中可免费阅读11页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种GaN‑HEMT器件上倾角结构的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:在具有GaN‑HEMT外延结构晶圆的表面依次生长第一SiN层、多晶硅层、二氧化硅层与第二SiN层;光刻开口,然后依次刻蚀第二SiN层、二氧化硅层与多晶硅层,以形成一深沟槽,使多晶硅层的侧壁暴露;氧化处理光刻开口后的GaN‑HEMT,使多晶硅层形成倾角结构;刻蚀去除第二SiN层与二氧化硅层;刻蚀处理多晶硅层及第一SiN层使多晶硅层的倾角结构形貌转移至第一SiN层。本发明采用氧化多晶硅形成二氧化硅的方法形成倾角结构,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113314416 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110631236.5
(22)申请日 2021.06.07
(71)申请人 上海新微半导体有限公司
您可能关注的文档
- 一种蔬菜加工车间用蔬菜清洗机.pdf
- 一种信克装置及具有该信克装置的机头.pdf
- 一种基于轻量型卷积神经网络的表面缺陷快速检测方法.pdf
- 双氢青蒿素类化合物在制备PD-L1表达抑制剂中的应用.pdf
- 一种基于小样本航空发动机叶片CT图像的深度学习缺陷自动检测识别方法.pdf
- 一种基于虚拟矢量的九相开绕组永磁同步电机模型预测控制方法.pdf
- 一种握笔手型內腕纠正器及纠正带.pdf
- 一种具有软性减震快速散热的医疗电源适配器.pdf
- 一种海上风电无功补偿协调控制方法.pdf
- 轨道列车管理维护装置.pdf
- 2024年广东省东莞市科学技术局招聘聘用人员7人历年【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
- 2024年广东清远市烟草专卖局(公司)招聘10人【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
- 2024年广东珠海市审计局招聘合同制职员2人历年【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
- 2024年广东省东莞市残疾人劳动就业管理办公室招聘1人历年【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
- 2024年广东湛江市因公出访电子办证中心招考【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
- 2024年广东湛江岭南师范学院体育科学学院编外人员招聘1人历年【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
- 2024年广东湛江市商务局招聘后勤服务人员1人历年【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
- 2024年广东潮州饶平县教育系统招聘事业单位人员98人笔试【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
- 2024年广东省东莞市麻涌镇安委办招聘34人历年【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
- 2024年广东省中山市委宣传部下属事业单位(中山广播电视台)招聘事业单位人员15人历年【综合基础知识500题】高频考点模拟试题及参考答案解析.docx
文档评论(0)