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本发明提供一种流量测量方法和流量测量装置，能高精度地测量气体的流量。在流量测量方法中：测量第一、第二流路的气体的第一压力；重复进行向第一流路的气体的供给和停止，来向第一、第二流路供给气体；在供给气体时，测量从各开信号到关信号期间的气体供给时间；测量第一、第二流路的气体的第二压力和温度；在将第一、第二流路间关闭并从第二流路进行了排气后，测量第二流路的气体的第三压力；在第一、第二流路进行了连接的状态下，测量第一、第二流路的气体的第四压力；基于第一～第四压力和温度来计算被供给到第一、第二流路的气体流量
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113295225 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110175393.X
(22)申请日 2021.02.09
(30)优先权数据
2020-0284
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