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本发明公开了一种自驱动湿度传感器及其制备方法，该自驱动湿度传感器包括半导体基底，半导体基底的正面刻蚀有纳米结构，半导体基底的正面围绕纳米结构制备有介电层，介电层上制备有悬浮电极，悬浮电极与纳米结构之间设有间隙，悬浮电极上位于所述纳米结构上方刻蚀有孔道结构，半导体基底的背面制备有底电极，底电极和悬浮电极上均连接有导线。本发明的湿度传感器无需额外电源，可实现湿度相关电信号的直接输出。本发明湿度传感器的自驱动特性使得该传感器对湿度的响应速度很快，达到毫秒级别。本发明的湿度传感器结构简单，有利于降低生产
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113311024 B
(45)授权公告日 2022.04.05
(21)申请号 202110730961.8 (56)对比文件
(22)申请日 2021.06.29
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